Huge working pressure effect on the ferroelectric properties of RF sputtered hafnia/zirconia layers - 3eFERRO Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02281215 , version 1 (08-09-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02281215 , version 1

Citer

Bertrand Vilquin, Jordan Bouaziz, Nicolas Baboux, Pédro Rojo Romeo, Lucian Pintilie, et al.. Huge working pressure effect on the ferroelectric properties of RF sputtered hafnia/zirconia layers. High-k Workshop 2019, NamLab, Jun 2019, Dresden, Germany. ⟨hal-02281215⟩
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